常规真空系统材料选择

常规真空系统材料选择

简单说，真空系统中的真空室以及管路所用的材料都可以称之为壳体材料，而各种静密封、动密封材料可以统称为密封材料。而无论是壳体材料还是密封材料，选择的依据主要是真空装置的真空度以及被抽介质的腐蚀性。

真空管路的粗抽管道及前级管道一般选择无缝钢管管，而高真空管道材料与真空室壳体的材料保持一致。

一般常见情况下，超高真空装置中，壳体材料必须用不锈钢，而密封材料则选择金属密封。

高真空装置，壳体材料可以是不锈钢材料或者是碳钢材料，主要考虑生产工艺过程的气体是否有腐蚀性，根据实际情况选用不锈钢或者碳钢镀镍以及其他涂层工艺，而密封材料一般是常见的橡胶密封。

而低真空装置选择材料主要考虑的就是被抽气体是否有腐蚀性的问题。

这些就是真空系统材料选择中粗略的判断，至于其他的像玻璃、铜及各式各样的合金材料等，更多的是在具体的细节配置上使用，还有一些有具体要求的特殊真空工艺环境中，那就需要进一步因地制宜，综合考虑了。

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