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超高洁净管

  • 所属分类:真空半导体

  • 点击次数:
  • 发布日期:2022/03/16
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详细介绍

高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。此外,这种方式由于被净化的是管道中的空气,送、回风量很小,可以大幅度地节约能量,是洁净技术的发展方向,也被称为第四代净化方式。

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